| dc.contributor.author |
Miyoshi, Yasufumi / 三好, 康史 |
en_US |
| dc.date.accessioned |
2014-05-09T07:07:21Z |
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| dc.date.available |
2014-05-09T07:07:21Z |
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| dc.date.issued |
2005-03-23 |
en_US |
| dc.identifier.uri |
http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1975 |
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| dc.description |
博士（工学）, 2004, 総合デザイン工学専攻 |
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| dc.language |
jpn |
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| dc.publisher |
慶應義塾大学理工学研究科 |
en_US |
| dc.subject |
プラズマプロセス |
ja |
| dc.subject |
誘導結合プラズマ |
ja |
| dc.subject |
発光分光法 |
ja |
| dc.subject |
レーザ吸収分光法 |
ja |
| dc.subject |
plasma process |
en |
| dc.subject |
inductively coupled plasma |
en |
| dc.subject |
optical emission spectroscopy |
en |
| dc.subject |
laser absorption spectroscopy |
en |
| dc.title |
二周波誘導結合型プラズマエッチャーにおける機能分離と気相・表面相互作用の光学的診断 |
en_US |
| dc.title.alternative |
Optical diagnostics of functional separation and plasma-surface interaction in two frequency inductively coupled plasma |
en_US |
| dc.type |
学位論文 |
en_US |
