| dc.contributor.author |
Yamamoto, Tomonari / 山本, 知成 |
en_US |
| dc.date.accessioned |
2014-05-09T07:08:07Z |
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| dc.date.available |
2014-05-09T07:08:07Z |
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| dc.date.issued |
2008-03-03 |
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| dc.identifier.uri |
http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2221 |
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| dc.description |
博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻 |
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| dc.publisher |
慶應義塾大学理工学研究科 |
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| dc.subject |
CMOS Devices |
en |
| dc.subject |
Lase annealing |
en |
| dc.subject |
Sub-50nm |
en |
| dc.title |
Studies of Performance Enhancement in Sub-50nm CMOS Devices Using Laser Annealing Technology |
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| dc.title.alternative |
レーザーアニール技術を用いたSub-50nm CMOSデバイスの高性能化に関する研究 |
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| dc.type |
学位論文 |
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