リモート式大気圧プラズマCVD法を用いた薄膜コーティングボトルの開発
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Date
2023-03-10
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2022, 開放環境科学専攻
Keywords
プラズマCVD, ガスバリア性, シリカ系薄膜, コーティング, plasma CVD, gas barrier property, silicon-based thin films, coating