Si微粒子を埋め込んだMOS構造の特性

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Date

2006-03-23

Authors

Kunimine, Kosuke / 國峯, 孝祐

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

修士（工学）, 2005, 基礎理工学専攻

Keywords

Si微粒子, MOS構造, 半導体メモリ, nanocrystalline Si, MOS structure, memory

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma_local/handle/10721/2052

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