Arマイクロセルプラズマとガス温度分布のシミュレーション

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Date

2010-03-23

Authors

MITSUHASHI, HISAHITO / 三橋, 久仁

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

修士（工学）, 2009, 総合デザイン工学専攻

Keywords

マイクロプラズマ, 温度, シミュレーション, Microcell plasma, Temperature, Simulation

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma_local/handle/10721/4650

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