AIP法により作製したTiN/TiAlYN積層薄膜の微細構造分析
| dc.contributor.advisor | 鈴木, 哲也 / 教授 | |
| dc.contributor.author | YOSHIKURA, TAKEHIRO / 吉倉, 丈博 | |
| dc.date.accessioned | 2021-11-12T00:45:23Z | |
| dc.date.available | 2021-11-12T00:45:23Z | |
| dc.date.issued | 2021-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2020, 開放環境科学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/13241 | |
| dc.language | ja | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | ナノマテリアル | ja |
| dc.subject | 薄膜合成 | ja |
| dc.subject | 高機能材料 | ja |
| dc.subject | 電子顕微鏡 | ja |
| dc.subject | Nano material | en |
| dc.subject | Thin film | en |
| dc.subject | electron microscope | en |
| dc.title | AIP法により作製したTiN/TiAlYN積層薄膜の微細構造分析 | |
| dc.title.alternative | Microstructure of TiN/TiAlYN multilayer thin films prepared by the arc ion plating method | |
| dc.type | 学位論文 |