2周波VHFエッチャーの発光分光CT計測～ウェハ近傍の時空間構造診断～
| dc.contributor.author | Ishimaru, Mikio / 石丸, 幹朗 | |
| dc.date.accessioned | 2014-05-16T01:07:50Z | |
| dc.date.available | 2014-05-16T01:07:50Z | |
| dc.date.issued | 2007-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2006, 総合デザイン工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/2971 | |
| dc.language | ja | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | Capacitivelity Coupled Plasma | en |
| dc.subject | Optical Emission Spectroscopy | en |
| dc.subject | Ar(2p9) | en |
| dc.subject | 容量結合型プラズマ | ja |
| dc.subject | 発光分光 | ja |
| dc.subject | Ar(2p9) | ja |
| dc.title | 2周波VHFエッチャーの発光分光CT計測～ウェハ近傍の時空間構造診断～ | en_US |
| dc.title.alternative | A CT Measurement by Using Optical Emission Spectroscopy in a Two Frequency CCP Etcher ～A Diagnostic of a Time-Space Structure at an Interface on a Wafer～ | en_US |
| dc.type | 学位論文 |