後期遷移金属原子を内包したシリコンケージ超原子集積膜の電気伝導性

dc.contributor.advisor	中嶋, 敦 / 教授
dc.contributor.author	NAKAMURA, KANATA / 中村, 奏太
dc.date.accessioned	2025-09-12T05:22:54Z
dc.date.available	2025-09-12T05:22:54Z
dc.date.issued	2024-09-20
dc.description	修士（理学）, 2024, 基礎理工学専攻
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8181/sigma_local/handle/10721/15297
dc.language	ja
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科
dc.subject	クラスター	ja
dc.subject	スパッタリング	ja
dc.subject	蒸着	ja
dc.subject	電気伝導性	ja
dc.subject	cluster	en
dc.subject	sputtering	en
dc.subject	deposition	en
dc.subject	conductivity	en
dc.title	後期遷移金属原子を内包したシリコンケージ超原子集積膜の電気伝導性
dc.title.alternative	Electrical conductivity of silicon cage superatom-integrated films encapsulating late transition metal atoms
dc.type	学位論文

Files

Now showing 1 - 1 of 1