三次元微細網目構造を応用した電気粘着薄膜の開発
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Date
2012-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2011, 総合デザイン工学専攻
Keywords
機能性表面, フォトリソグラフィ, 三次元微細網目構造, 電気粘着効果, smart surface, photolithography, 3-dimensional micro mesh structure, electro-adhesive effect