3次元微細構造を用いた電気粘着表面の基礎特性解析
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Date
2014-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2013, 総合デザイン工学専攻
Keywords
電気粘着効果, フォトリソグラフィ, 3次元微細構造, Electro-Adhesive Effect, photolithography, 3 dimensional Micro-structure