金属アシスト化学エッチングによるシリコンナノワイヤの作製

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Date

2012-09-21

Authors

YAMADA, MICHIHIRO / 山田, 道洋

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

修士（工学）, 2012, 基礎理工学専攻

Keywords

シリコン, ナノワイヤ, エッチング, silicon, nanowire, etching

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma_local/handle/10721/6499

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