単結晶フッ化マグネシウムの楕円振動切削加工における加工特性評価
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Date
2023-03-10
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2022, 総合デザイン工学専攻
Keywords
楕円振動切削加工, 単結晶フッ化マグネシウム, 硬脆材料, 延性モード加工, 微小光共振器, Elliptical vibration cutting, Single crystal magnesium fluoride, Brittle material, Ductile mode cutting, Optical microcavity