階層的ナノ流路を用いた1粒子サンプリング法の開発
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Date
2024-03-26
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2023, 総合デザイン工学専攻
Keywords
ナノ流体工学, 1粒子解析, 電子線リソグラフィ, nanofluidic, single particle analysis, EB lithography