熱化学反応を利用した単結晶ダイヤモンドの微細加工に関する研究
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Date
2010-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2009, 総合デザイン工学専攻
Keywords
単結晶ダイヤモンド, 微細加工, 鉄系金属, 熱化学反応, single crystal diamond, microscale patterning, sidero-metal, thermochemical reaction