誘導結合型プラズマにおけるAr準安定励起原子のプラズマ維持ならびに酸素原子生成に与える効果の数値計算モデリング
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Date
2008-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻
Keywords
誘導結合型プラズマ, 数値モデリング, 準安定励起原子, Inductively coupled plasma, Numerical modeling, Metastable atom