アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜
| dc.contributor.author | Kimura, Ayako / 木村, 綾子 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:06:37Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:06:37Z | |
| dc.date.issued | 2002-03-23 | en_US |
| dc.description | 博士 (理学), 2001年度, 基礎理工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1717 | |
| dc.language | eng | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.title | アークイオンプレーティング法により作製した3元系窒化膜およびダイヤモンドライクカーボン膜 | en_US |
| dc.title.alternative | Ternary Nitride and Diamond-like Carbon Films Synthesized by Cathodic Arc Deposition | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |