DCマグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョン形状とプラズマ構造のモデリング
| dc.contributor.author | Shidoji, Eiji / 志堂寺, 栄治 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:06:32Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:06:32Z | |
| dc.date.issued | 2001-02-07 | en_US |
| dc.description | 博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1661 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.title | DCマグネトロンスパッタリングにおけるターゲットエロージョン形状とプラズマ構造のモデリング | en_US |
| dc.title.alternative | The modeling of the target erosion profile and the plasma structure of a d.c. magnetron sputtering | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |