サブ100nm世代CMOSのプロセスモデリングの研究
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Date
2004-03-03
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士 (工学), 2003年度, 総合デザイン工学専攻
Keywords
プロセスモデリング, シミュレーション, CMOS, TCAD, process modeling, simulation, CMOS, TCAD