二周波誘導結合型プラズマエッチャーにおける機能分離と気相・表面相互作用の光学的診断
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Date
2005-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
博士（工学）, 2004, 総合デザイン工学専攻
Keywords
プラズマプロセス, 誘導結合プラズマ, 発光分光法, レーザ吸収分光法, plasma process, inductively coupled plasma, optical emission spectroscopy, laser absorption spectroscopy