新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究
| dc.contributor.author | Kumagai, Hiroshi / 熊谷, 寛 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T06:56:39Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T06:56:39Z | |
| dc.date.issued | 1990-03-31 | en_US |
| dc.description | 博士 (工学), 1989年度 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/484 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.title | 新しい高効率紫外・真空紫外マイクロ波放電励起エキシマランプに関する研究 | en_US |
| dc.title.alternative | A study of new high-efficiency ultraviolet and vacuum ultraviolet excimer lamps pumped by microwave discharge | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |