スピンコーティングによる薄膜形成過程

Date

2001-02-07

Authors

Kitamura, Akihiro / 北村, 哲浩

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士 (工学), 2000年度, 機械工学専攻

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1642

Collections