誘導結合型Ar,O2/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断
| dc.contributor.author | Hayashi, Yuichiro / 林, 雄一郎 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:09:26Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:09:26Z | |
| dc.date.issued | 2012-09-21 | en_US |
| dc.description | 博士（工学）, 2012, 総合デザイン工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2610 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | 誘導結合型プラズマ | ja |
| dc.subject | E-H遷移 | ja |
| dc.subject | 発光分光法 | ja |
| dc.subject | inductively coupled plasma | en |
| dc.subject | transition | en |
| dc.subject | spectroscopy | en |
| dc.title | 誘導結合型Ar,O2/ArプラズマのE-H遷移過程の時空間分解分光診断 | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |