SiH4-希ガス混合気体中の電子スウォーム特性と電子衝突断面積に関する研究

Date

1990-03-31

Authors

Kurachi, Masashi / 倉知, 正

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

博士 (工学), 1989年度

URI

http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/533

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