PIC／MCシミュレーションを用いた衝突支配型ICPに関する数値研究
| dc.contributor.author | O, Jinson / 呉, 眞晟 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:06:32Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:06:32Z | |
| dc.date.issued | 2000-09-23 | en_US |
| dc.description | 博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1652 | |
| dc.language | eng | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.title | PIC／MCシミュレーションを用いた衝突支配型ICPに関する数値研究 | en_US |
| dc.title.alternative | Numerical study of collision-dominated inductively coupled plasma using particle in cell/monte carlo simulation | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |