薄膜の常温接合による3次元微細加工技術の開発とオーバーレイ誤差の要因解析
| dc.contributor.author | Yamada, Takayuki / 山田, 髙幸 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:09:08Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:09:08Z | |
| dc.date.issued | 2011-08-30 | en_US |
| dc.description | 博士（工学）, 2011, 総合デザイン工学 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2533 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | 常温接合 | ja |
| dc.subject | 微細加工 | ja |
| dc.subject | オーバーレイ誤差 | ja |
| dc.subject | surface activated bonding | en |
| dc.subject | microfabrication | en |
| dc.subject | overlay error | en |
| dc.title | 薄膜の常温接合による3次元微細加工技術の開発とオーバーレイ誤差の要因解析 | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |