微細三次元構造形成用リソグラフィ技術の研究
| dc.contributor.author | Hanai, Kei / 花井, 計 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-09T07:07:41Z | |
| dc.date.available | 2014-05-09T07:07:41Z | |
| dc.date.issued | 2006-03-23 | en_US |
| dc.description | 博士(工学), 2005, 基礎理工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2071 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | リソグラフィ | ja |
| dc.subject | 微細加工 | ja |
| dc.subject | MEMS | ja |
| dc.subject | 三次元構造 | ja |
| dc.subject | lithography | en |
| dc.subject | micromachining | en |
| dc.subject | MEMS | en |
| dc.subject | 3D-structure | en |
| dc.title | 微細三次元構造形成用リソグラフィ技術の研究 | en_US |
| dc.title.alternative | Bisai sanjigen kozo keiseiyo risogurafi gijutsu no kenkyu | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |