(100)ダイヤモンド基板上{111}面逆ピラミッド型構造内の高配向窒素空孔中心の生成と評価
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Date
2023-03-10
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2022, 基礎理工学専攻
Keywords
ダイヤモンド, NVセンター, Ni異方性エッチング, 量子センシング, Diamond, NV center, Ni etching, Quantum sensing