真空下における電気粘着表面の基礎特性解析
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Date
2016-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2015, 総合デザイン工学専攻
Keywords
機能性表面, 微細構造, 電気粘着効果, フォトリソグラフィ, functional surface, micro structure, electro-adhesive effect, photolithography