シリコン同位体ナノピラー酸化膜中における粘性流動現象の3次元アトムプローブ検証
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Date
2019-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2018, 基礎理工学専攻
Keywords
3次元アトムプローブ, ナノピラー酸化, 自己拡散, Si同位体エピタキシー, atom probe tomography, nano pillar oxidation, self-diffusion, Si isotope epitaxy