シリコン同位体ナノピラー酸化膜中における粘性流動現象の3次元アトムプローブ検証
| dc.contributor.advisor | 伊藤, 公平 / 教授 | |
| dc.contributor.author | HAYASHI, SAYAKA / 林, 彩弥佳 | |
| dc.date.accessioned | 2019-09-26T23:36:03Z | |
| dc.date.available | 2019-09-26T23:36:03Z | |
| dc.date.issued | 2019-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2018, 基礎理工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/11459 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | 3次元アトムプローブ | ja |
| dc.subject | ナノピラー酸化 | ja |
| dc.subject | 自己拡散 | ja |
| dc.subject | Si同位体エピタキシー | ja |
| dc.subject | atom probe tomography | en |
| dc.subject | nano pillar oxidation | en |
| dc.subject | self-diffusion | en |
| dc.subject | Si isotope epitaxy | en |
| dc.title | シリコン同位体ナノピラー酸化膜中における粘性流動現象の3次元アトムプローブ検証 | |
| dc.title.alternative | Atom-Probe Study of Oxide Viscous-Flow Mechanism using Isotopically Modulated Silicon Nanopillar | |
| dc.type | 学位論文 |