Alq3膜における表面電位の蒸着条件依存性
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Date
2006-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2005, 基礎理工学専攻
Keywords
Alq3, 表面電位, ケルビンプローブ法, 蒸着速度, 基板温度, Alq3, surface potential, Kelvin probe method, deposition rate, substrate temperature