40nm波長帯における高反射率多層膜ミラーの開発

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Date

2015-03-23

Authors

SAWADA, KAZUHIRO / 澤田, 和寛

Publisher

慶應義塾大学理工学研究科

Description

修士（工学）, 2014, 総合デザイン工学専攻

Keywords

多層膜, 多層膜ミラー, 40nm, 軟X線, Multilayer, Multilayer mirror, 40nm, soft X-ray

URI

/sigma_local/handle/10721/8684

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