40nm波長帯における高反射率多層膜ミラーの開発
| dc.contributor.advisor | 神成, 文彦 / 教授 | |
| dc.contributor.author | SAWADA, KAZUHIRO / 澤田, 和寛 | |
| dc.date.accessioned | 2015-11-30T04:08:19Z | |
| dc.date.available | 2015-11-30T04:08:19Z | |
| dc.date.issued | 2015-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2014, 総合デザイン工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/8684 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | 多層膜 | ja |
| dc.subject | 多層膜ミラー | ja |
| dc.subject | 40nm | ja |
| dc.subject | 軟X線 | ja |
| dc.subject | Multilayer | en |
| dc.subject | Multilayer mirror | en |
| dc.subject | 40nm | en |
| dc.subject | soft X-ray | en |
| dc.title | 40nm波長帯における高反射率多層膜ミラーの開発 | |
| dc.title.alternative | Development of multilayer mirrors with high reflectivity for the 40nm wavelength region | |
| dc.type | 学位論文 |