立方晶ワイドバンドギャップ半導体のピエゾ抵抗効果シミュレーション
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Date
2021-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2020, 総合デザイン工学専攻
Keywords
MEMS, ピエゾ抵抗効果, 圧力センサ, 3C-SiC, 酸化ガリウム, MEMS, Piezoresistive effect, Pressure sensor, 3C-SiC, Ga2O3