3ω法を利用したALD-Al2O3薄膜の熱特性の研究
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Date
2019-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2018, 総合デザイン工学専攻
Keywords
3ω法, 酸化アルミニウム, 熱伝導率, 熱特性, 3-omega method, Al2O3, thermal conductivity, ALD