3ω法を利用したALD-Al2O3薄膜の熱特性の研究
| dc.contributor.advisor | 内田, 建 / 教授 | |
| dc.contributor.author | KANAZAWA, RYOHEI / 金澤, 良平 | |
| dc.date.accessioned | 2019-09-26T23:36:18Z | |
| dc.date.available | 2019-09-26T23:36:18Z | |
| dc.date.issued | 2019-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2018, 総合デザイン工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/11566 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | 3ω法 | ja |
| dc.subject | 酸化アルミニウム | ja |
| dc.subject | 熱伝導率 | ja |
| dc.subject | 熱特性 | ja |
| dc.subject | 3-omega method | en |
| dc.subject | Al2O3 | en |
| dc.subject | thermal conductivity | en |
| dc.subject | ALD | en |
| dc.title | 3ω法を利用したALD-Al2O3薄膜の熱特性の研究 | |
| dc.title.alternative | Thermal conductivity measurement of Al2O3 thin films deposited by ALD using the 3-omega method | |
| dc.type | 学位論文 |