三元系窒化物薄膜の微構造におよぼす異種元素の添加効果
Loading...
Date
2005-03-23
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2004, 基礎理工学専攻
Keywords
窒化物, 微構造, (Cr,Al,B)N, (Ti,Cr,Al)N, nitride, micro structure, (Cr,Al,B)N, (Ti,Cr,Al)N