三元系窒化物薄膜の微構造におよぼす異種元素の添加効果
| dc.contributor.author | Yamamoto, Tomonari / 山本, 友也 | en_US |
| dc.date.accessioned | 2014-05-16T01:06:04Z | |
| dc.date.available | 2014-05-16T01:06:04Z | |
| dc.date.issued | 2005-03-23 | en_US |
| dc.description | 修士（工学）, 2004, 基礎理工学専攻 | en_US |
| dc.identifier.uri | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma_local/handle/10721/1702 | |
| dc.language | jpn | en_US |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | en_US |
| dc.subject | 窒化物 | ja |
| dc.subject | 微構造 | ja |
| dc.subject | (Cr,Al,B)N | ja |
| dc.subject | (Ti,Cr,Al)N | ja |
| dc.subject | nitride | en |
| dc.subject | micro structure | en |
| dc.subject | (Cr,Al,B)N | en |
| dc.subject | (Ti,Cr,Al)N | en |
| dc.title | 三元系窒化物薄膜の微構造におよぼす異種元素の添加効果 | en_US |
| dc.title.alternative | Effects of Embedding Various Atoms in Microstructure of Ternary Nitride Films | en_US |
| dc.type | 学位論文 | en_US |