歪みGe・SiGe擬似基板構造の移動度スペクトル解析
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Date
2007-03-23
Authors
Journal Title
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2006, 基礎理工学専攻
Keywords
移動度スペクトル解析, 歪ゲルマニウム, バッファ層, Mobility Spectrum Analysis, Strained Germanium, Buffer Layer