歪みGe・SiGe擬似基板構造の移動度スペクトル解析
| dc.contributor.author | Mohri, Tomotaka / 毛利, 友隆 | |
| dc.date.accessioned | 2014-05-16T01:08:11Z | |
| dc.date.available | 2014-05-16T01:08:11Z | |
| dc.date.issued | 2007-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2006, 基礎理工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/3228 | |
| dc.language | ja | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | 移動度スペクトル解析 | ja |
| dc.subject | 歪ゲルマニウム | ja |
| dc.subject | バッファ層 | ja |
| dc.subject | Mobility Spectrum Analysis | en |
| dc.subject | Strained Germanium | en |
| dc.subject | Buffer Layer | en |
| dc.title | 歪みGe・SiGe擬似基板構造の移動度スペクトル解析 | en_US |
| dc.title.alternative | Mobility Spectrum Analysis of Strained Ge / SiGe Virtual Substrate Structures | en_US |
| dc.type | 学位論文 |