SiC中格子欠陥におけるX線光電子分光の第一原理的研究
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Date
2013-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（理学）, 2012, 基礎理工学専攻
Keywords
X線光電子分光, 第一原理計算, シリコンカーバイド, XPS, SiC, X-ray photoelectron spectroscopy, first principles calculation, silicon carbide, XPS, SiC