2周波容量結合プラズマ中の非発光Ar準安定原子空間分布の発光測定
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Date
2011-03-23
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2010, 総合デザイン工学専攻
Keywords
準安定原子, 2周波容量結合プラズマ, 発光分光測定, metastable, Two-frequency Capacitively Coupled Plasma, Optical Emission Spectroscopy