2周波容量結合プラズマ中の非発光Ar準安定原子空間分布の発光測定
| dc.contributor.advisor | 真壁, 利明 / 教授 | |
| dc.contributor.advisor | 辰巳, 哲也 / 客員准教授 | |
| dc.contributor.author | TAKAHASHI, KAZUKI / 高橋, 一輝 | |
| dc.date.accessioned | 2014-05-16T01:12:07Z | |
| dc.date.available | 2014-05-16T01:12:07Z | |
| dc.date.issued | 2011-03-23 | |
| dc.description | 修士（工学）, 2010, 総合デザイン工学専攻 | |
| dc.identifier.uri | /sigma_local/handle/10721/5286 | |
| dc.publisher | 慶應義塾大学理工学研究科 | |
| dc.subject | 準安定原子 | ja |
| dc.subject | 2周波容量結合プラズマ | ja |
| dc.subject | 発光分光測定 | ja |
| dc.subject | metastable | en |
| dc.subject | Two-frequency Capacitively Coupled Plasma | en |
| dc.subject | Optical Emission Spectroscopy | en |
| dc.title | 2周波容量結合プラズマ中の非発光Ar準安定原子空間分布の発光測定 | |
| dc.title.alternative | Measurement of the Density Distribution of the Non-emissive Ar Metastables in a 2f-CCP by Using OES with a Pair of Emission Lines | |
| dc.type | 学位論文 |