2周波容量結合型プラズマによるMEMS加工のモデリング: パターン形状とプラズマインターフェース構造について
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Date
2006-09-21
Authors
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Publisher
慶應義塾大学理工学研究科
Abstract
Description
修士（工学）, 2006, 総合デザイン工学専攻
Keywords
MEMS, 容量結合型プラズマ, CCP, 2f-CCP, モデリング, MEMS, 2f-CCP, CCP, Capacitively Coupled Plasma, Modeling