2周波容量結合型プラズマによるMEMS加工のモデリング: パターン形状とプラズマインターフェース構造について

dc.contributor.author	Hamaoka, Fukutaro / 濱岡, 福太郎
dc.date.accessioned	2014-05-16T01:07:53Z
dc.date.available	2014-05-16T01:07:53Z
dc.date.issued	2006-09-21
dc.description	修士（工学）, 2006, 総合デザイン工学専攻
dc.identifier.uri	/sigma_local/handle/10721/3012
dc.language	ja
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科
dc.subject	MEMS	ja
dc.subject	容量結合型プラズマ	ja
dc.subject	CCP	ja
dc.subject	2f-CCP	ja
dc.subject	モデリング	ja
dc.subject	MEMS	en
dc.subject	2f-CCP	en
dc.subject	CCP	en
dc.subject	Capacitively Coupled Plasma	en
dc.subject	Modeling	en
dc.title	2周波容量結合型プラズマによるMEMS加工のモデリング: パターン形状とプラズマインターフェース構造について	en_US
dc.title.alternative	Modeling of Two Frequency Capacitively Coupled Plasma for MEMS Processing: Influence of a local pattern on interfacial plasma structure	en_US
dc.type	学位論文

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