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Geイオン注入固相再結晶化多結晶シリコン膜及びin-situドープ多結晶シリコン膜の特性に関する研究
| タイトル: | Geイオン注入固相再結晶化多結晶シリコン膜及びin-situドープ多結晶シリコン膜の特性に関する研究 |
| 著者: | Kang, Myeon-Koo / 姜, 勉求 |
| 記述: | 博士 (工学), 1995年度, 電気工学専攻 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1090 |
| 日付: | 1996-03-23 |
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