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Pt拡散Siパワーデバイスの電気的性質に与える酸化Si表面及びPt拡散雰囲気の効果
| タイトル: | Pt拡散Siパワーデバイスの電気的性質に与える酸化Si表面及びPt拡散雰囲気の効果 |
| 著者: | Pahlawan, Sagala / Pahlawan, Sagala |
| 記述: | 博士 (工学), 1993年度 |
| URI: | http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1360 |
| 日付: | 1993-07-07 |
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