高周波駆動マイクロセルプラズマの基礎特性

Σstar

dc.contributor.author	Kurihara, Masaru / 栗原, 優	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T07:06:33Z
dc.date.available	2014-05-09T07:06:33Z
dc.date.issued	2001-03-23	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1670
dc.description	博士 (工学), 2000年度, 電気工学専攻	en_US
dc.language	jpn	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.title	高周波駆動マイクロセルプラズマの基礎特性	en_US
dc.title.alternative	Basic characteristics of micro-cell plasma driven by high frequency source	en_US
dc.type	学位論文	en_US

ファイル	サイズ	フォーマット	閲覧
このアイテムに関連するファイルは存在しません。