| dc.contributor.author |
Satake, Koji / 佐竹, 宏次 |
en_US |
| dc.date.accessioned |
2014-05-09T07:07:11Z |
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| dc.date.available |
2014-05-09T07:07:11Z |
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| dc.date.issued |
2004-12-08 |
en_US |
| dc.identifier.uri |
http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/1916 |
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| dc.description |
博士（工学）, 2004, 総合デザイン工学専攻 |
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| dc.language |
eng |
en_US |
| dc.publisher |
慶應義塾大学理工学研究科 |
en_US |
| dc.subject |
プラズマ |
ja |
| dc.subject |
化学蒸着 |
ja |
| dc.subject |
モデリング |
ja |
| dc.subject |
太陽電池 |
ja |
| dc.subject |
微結晶シリコン薄膜 |
ja |
| dc.subject |
Plasma |
en |
| dc.subject |
Chemical Vapor Deposition |
en |
| dc.subject |
Modeling |
en |
| dc.subject |
Solar Cell |
en |
| dc.subject |
Microcrystalline silicon thin film |
en |
| dc.title |
微結晶シリコン薄膜のプラズマ化学蒸着の数値モデリング |
en_US |
| dc.title.alternative |
Numerical modeling of plasma enhanced chemical vapor deposition of microcrystalline silicon thin films |
en_US |
| dc.type |
学位論文 |
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