プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究

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dc.contributor.author	Goto, Takeshi / 後藤, 剛	en_US
dc.date.accessioned	2014-05-09T07:08:12Z
dc.date.available	2014-05-09T07:08:12Z
dc.date.issued	2007-08-01	en_US
dc.identifier.uri	http://iroha.scitech.lib.keio.ac.jp:8080/sigma/handle/10721/2264
dc.description	博士（工学）, 2007, 総合デザイン工学専攻	en_US
dc.publisher	慶應義塾大学理工学研究科	en_US
dc.subject	プラズマ	ja
dc.subject	半導体プロセス	ja
dc.subject	レジスト	ja
dc.subject	トリミング	ja
dc.subject	SO2	ja
dc.subject	plasma	en
dc.subject	semiconductor-process	en
dc.subject	resist	en
dc.subject	triming	en
dc.title	プラズマを用いたポリシリコンゲート電極の微細加工の研究	en_US
dc.type	学位論文	en_US

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